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加速度传感器

  加速度是物体运动的速度随时间的变化率,是描述物体运动速度的大小和方向变化的物理量。加速度传感器就是用于测量待测物体运动过程中的加速度的传感器。其组成结构由不同的类型而不同。
  目前单维的加速度传感器的技术比较成熟,基于压电、压阻、光纤等检测机理的各种传感器,市场上都有相应的产品。然而,物体运动的加速度是一空间矢量。一方面,要准确了解物体的运动状态,必须测得它的三个坐标轴上的分量;另一个方面,在预先不知道物体运动状况的场合下,只有应用多维加速度传感器来检测相应的加速度信号。同时,随着科学技术的迅速发展,传统的单维加速度传感器己经不能满足在测量、控制和信息技术等领域对传感信息越来越高的要求。加速度计种类繁多,但从测试原理上可分为压电效应式、电容式、电感式、应变式、压阻式和表面声波式等等。从测量维数来分,绝大多数为一维型,个别属二维型,极少数属三维型。
  加速度传感器的主要指标有以下几个方面:
  1、灵敏度。
  2、频率响应。
  3、测量量程。
  4、精度。
  5、满量程费线性度。
  6、漂移。
  7、横向效应。
  8、抗震性能。
  最近十几年来,用微机械技术制作的加速度计得到了迅速的发展。其主要的加速度检测技术有压阻检测、压电检测、热检测、共振检测、电磁检测、光检测、隧道电流检测和电容检测等。加速度传感器是一种重要的力学量敏感器件,广泛地应用于工业自动控制,科学测量、军事和空间系统等领域。
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