西门子法-EDA365

西门子法

改良西门子法
　　多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。
　　改良西门子法相对于传统西门子法的优点主要在于：
　　1）节能：
　　由于改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉，可有效降低还原炉消耗的电能；
　　2）降低物耗：改良西门子法对还原尾气进行了有效的回收。
　　所谓还原尾气：是指从还原炉中排放出来的，经反应后的混合气体。
　　改良西门子法将尾气中的各种组分全部进行回收利用，这样就可以大大低降低原料的消耗。
　　3）减少污染：由于改良西门子法是一个闭路循环系统，多晶硅生产中的各种物
　　料得到充分的利用，排出的废料极少，相对传统西门子法而言，污染得到了
　　控制，保护了环境。
　　改良西门子法属于欧美淘汰的旧技术，相对国外最先进的硅烷法成本较高，而且能耗高，污染重。是国内多晶硅企业一般采用的方法。一般3到5年之内会淘汰。