偏压电源-EDA365

偏压电源

　　偏压电源
　　中文名偏压电源
　　外文名Bias power supply
　　定义真空电弧离子镀
　　应用在镀膜工艺中为工件提供负偏压
　　目录
　　1定义：
　　2作用
　　3技术说明
　　1定义：
　　偏压电源（Bias power supply ）是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负（或正）偏压。
　　2作用
　　1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力
　　2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力
　　3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色
　　4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件
　　3技术说明
　　偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜。